发布时间：2017-08-08 点击次数：次
【摘要】多年来，氦气泄漏检测已经成为各种应用领域测试气密性的方法。 与其他气密性测试方法相比，它的高灵敏度、测量的可靠性以及易 重复性是最有力的优势。
多年来，氦气泄漏检测已经成为各种应用领域测试气密性的方法。 与其他气密性测试方法相比，它的高灵敏度、测量的可靠性以及易 重复性是最有力的优势。 对于检测测试气体，普发真空提供基于质谱原理的检漏仪。质谱仪 对混合气体进行电离，并在其质荷比的基础上分离出所需的示踪气 体。由于质谱仪的低检测限，普发真空检漏仪的高灵敏度得以保 证。
质谱仪是检漏仪的核心部分
我们所称呼的“质谱仪单元”是氦气检漏仪的核心部分。气体从检漏 仪的入口被导入质谱仪单元。在这里用高能量的电子束对带电的气 体粒子进行撞击（图 1，紫色）。电子束利用金属丝在高温下产 生。如果中性气体粒子层的电子被撞击，它会从电子层脱出。结 果，带正电的气体粒子—离子—留了下来。大部分导入的气体粒子
被电子之间的碰撞电离。
